불균일
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anisodesmic solid : 불균일 동질결합성 고체
heterolysis : 불균일 분해 (반응), 이질분해(반응)
heterolytic cleavage : 불균일 분해, 이질 분할
heterogeneity (이성이질성, 불균질성, 불균일성) 유전학에서는 유전자형이 다르면서 표현형
이 완전히 같든지 많이 닮은 경우를 말한다.
heterogenous (이종성, 이질의) 다른 근원에서 발생한. 이종 성분에서 되는 것. 불균일성. 유
전학에서는 위치가 다른 유전자에 의해서도 같은 형질이 유전되는 경우를 말한다.
spatial nonuniformity (공간적 불균일성)
(100)실리콘의 깊은 비등방성 식각시 식각면의 가장자리에 존재하는
불균일성의 짤막한 고찰
Short Consideration on the Non-Uniformities Existing at the Etched-edges
in Deep Anisotropic Etching of (100) Silicon
-
(100) 실리콘 기판에 대해 깊은 비등방성 식각을 행한 경우 식각면의
가장자리에 존재하는 불균일성은 식각 계면의 격자결함과 기계적 응력에
의한 것임을 관찰할 수 있었다.
In deep anisotropic etching of (100)-oriented Si substrate,
it could be observed that the non-uniformities existing
near the etched-edge were caused by lattice defects and mechanical
stress at the etching interface.
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