공진기
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cavity resonator 공동 공진기
resonator 〔ｒ´ｅｚ∂ｎ｀ｅｉｔ∂ｒ〕 공명기, 공진기
공동 공진기 cavity resonator
반사막 공진기 Solid Mounted Resonator, SMR
원형 공진기 circular resonator
필름 벌크 공진기 Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR
마) "반도체 기반 공진기(resonator)"란 반도체 디바이스의 한 형태로서, 반도체 덩어리 상태나 반도체 표면에 만들어져서 외부 신호에 반응하여 구조물의 물리적인 기하학적 성질에 따라 미리 규정된 주파수의 기계적·전기적 진동을 발생시키는 기능을 가진 마이크로전자나 기계 구조물로 구성된다.
(5) “Semiconductor-based resonator” is a type of semiconductor device, which consists of microelectronic or mechanical structures that are created in the mass or on the surface of a semiconductor and that have the function of generating a mechanical or electrical oscillation of a predefined frequency that depends on the physical geometry of these structures in response to an external input.
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