silicon nitride
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[航]silicon nitride 질화규소
A study on the double-layered dielectric films of tantalum oxide
and plasma silicon nitride formed by in situ process.
연속공정으로 형성된 탄탈륨 산화막 및 플라즈마 실리콘질화막의 이중
유전막에 관한 연구.
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